序号 | 项目内容 | 数量 | 技术参数 | 交货期 | 质保期 |
01 | 聚焦离子束-电子束双束电镜与飞行时间二次离子质谱仪联用系统 | 1套 |
1.分辨率:< 2.5 nm @ 30 kV (在SEM-FIB的重合点) 2.离子束能量 0.5 keV—30 keV 3.离子源:镓(Ga)液态金属离子源 4.Ga离子源保证使用寿命大于3000 A.h |
合同签订后6个月内 | 验收合格后5年 |
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